크린크리에티브(대표 이병구)가 반도체 웨이퍼 제조공정 중 연마공정에 사용되는 연마제를 국산화했다고 3월27일 밝혔다. 연마공정은 웨이퍼를 경면으로 만드는 공정으로 연마공정시 사용되는 연마제는 입자크기와 투입되는 양 등이 정밀하게 제어돼야 하는 특징이 있다. 크린크리에티브는 연마제를 개발하기 위해 1997년부터 연구팀을 조직해 연구비를 연간 10억원 이상 투입했으며, 개발과정에서 3건의 특허를 출원·등록했다. 크린크리에티브가 국산화한 연마제는 기존의 해외제품보다 성능이 우수하고 가격도 저렴해 100억원에 달하는 국내 시장의 수입대체효과가 있을 것으로 기대하고 있다. 크린크리에티브는 음성공장에 연간 200톤 생산설비를 갖췄으며, 3월부터 LG실트론에 연마제 양산제품을 납품하고 있다. <Chemical Daily News 2001/03/28> |
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