UNIST, 유기금속 화학증착 활용 … 주석 셀레나이드계 2종 사용
화학뉴스 2024.05.03
국내 연구진이 낮은 온도에서 원자층 두께의 막을 균일하고 안정적으로 입힐 수 있는 반도체 소재 공정 기술을 개발했다. <화학저널 2024/05/03> |
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