KAIST 나노Fab센터에 CMP Slurry 공급 … 고성능 나노소자 공동개발 제일모직이 6월9일 한국과학기술원(KAIST) 부설 나노종합Fab센터와 첨단 나노(Nano) 연구 지원을 위한 협약을 체결했다고 밝혔다.제일모직은 협약에 따라 앞으로 나노 연구의 필수 재료인 초정밀 연마제(CMP Slurry)를 나노종합Fab센터에 공급하고 고집적 나노소자의 공동개발을 위해 긴밀한 협력관계를 구축해 나가기로 했다. CMP Slurry는 제일모직이 1998년 자체 개발에 성공해 2003년부터 본격 양산에 들어간 전자재료로, 나노소자중에서 두께가 일정하지 못한 부분을 화학적ㆍ기계적 방법으로 평탄하게 만드는 연마제이다. 제일모직은 양측이 협력관계를 구축함으로써 국내 나노기술의 연구ㆍ개발이 가속화하고 향후 나노 관련산업의 규모도 커질 수 있을 것으로 기대했다. 제일모직 김경대 상무는 “자체 개발한 첨단 나노 재료를 연구기관에 지원함으로써 전자재료 부문의 기술력을 인정받게 됐다”며 “향후 기술개발을 위한 지원을 강화하고 협력관계를 더욱 발전시켜 나갈 방침”이라고 밝혔다. <화학저널 2004/06/10> |
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