Liquide, 고순도 N₂ 플랜트 건설
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Air Liquide는 840만달러를 투자해 98년봄 완공 예정으로 프랑스 Rousset에 고순도 N₂ 시간당 8000큐빅미터 플랜트를 건설, 인근 반도체 메이커 SGS Thomson Microelectronics 및 Atmel에 공급할 계획이다. 3km 파이프라인 시스템을 통해 각 용도에 맞는 N₂를 공급하기 위한 저장탱크도 건설할 예정이다.<CW 97/10/15> <화학저널 1997/11/24> |
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