OCI머티리얼즈(대표 조백인)가 반도체용 가스 생산을 확대하고 있다.
NF3는 반도체, LCD(Liquid Crystal Display), 태양전지 등 공정 후 챔버(Chamber) 내부의 잔류물을 제거하기 위해 채용하는 가스로 중국 진강에 NF3 1000톤 공장을 건설하고 있다.
또한 디실란(Si2H6)은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정에 주로 채용되는 화학제품으로 경북 영주 소재 10톤 공장을 2012년 11월부터 시운전하고 있다.
NF3는 중국 반도체 시장의 확대로 수급타이트가 발생할 것으로 기대돼 사업 확장에 참여한 것으로 알려졌으며, 디실란은 국산화를 통해 시장을 확대할 방침이다.
하지만, NF3는 공급과잉으로 국내시장이 침체되고 있어 수익성을 기대하기 어려운 것으로 파악되고 있다.
다만, 디실란은 국내수요가 5톤 미만이지만 매출 600억원을 기대하고 있어 고부가가치 사업으로 수익 창출을 기대하고 있다. <허웅 기자>