2026년 10월 21일 (수)
원익머트리얼즈, 반도체용 특수가스 생산 확대

청주 3공장에서 PF3 시험가동 … 신제품 중심으로 추가 증설 검토

박진아 연구원
화학뉴스 2026.02.13

원익머트리얼즈(대표 한정욱)가 반도체용 특수가스 생산라인을 확대한다. 


켐로커스 취재에 따르면, 원익머트리얼즈는 청주 오창테크노폴리스산업단지에 2025년 12월 오창, 양청, 전의에 이어 4번째 특수가스 공장인 청주 3공장을 완공하고 2026년 1월부터 PF3(삼불화인) 혼합가스 생산라인을 시험가동하고 있다.
PF3는 반도체 공정 중 차세대 극저온 식각 공정에 사용되는 특수가스이다. 청주 3공장은 신제품 중심으로 운영할 계획이며 추가적인 생산라인은 상업성과

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