고순도 염산
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순수한 염산은 무색투명하며 공업용 염산은 염화철 등을 함유하고 있기 때문에 황색을 띤다. 고순도 염산의 용도로는 웨이퍼세정제 및 에칭에 사용되고 있으며 37%액체의 형태로 탈이온제의 세정액으로 사용된다. 국내에서는 환경오염과 장비를 부식시키는 단점으로 인해 신규라인에는 환경오염이 없는 과산화수소 등으로 대체되고, 4M DRAM급 이상의 반도체 공정에서는 고순도 염산이 거의 사용되지 않고 있으며 하이그레이드 공정에서도 거의 사용되지 않고 있다. 내수시장은 92년까지 전량 일본, 미국 등으로부터 수입에 의존해 왔으나 93년 동우반도체약품에 의해 국산화됐다. 그래픽, 도표: 없음 <’96 화학연감> |
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