Formosa, 반도체 세정가스 생산 임박
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9월 Nitrogen Trifluoride 200톤 생산 … 2006년까지 800톤으로 확대 타이완 Formosa Plastics Group이 최근 100억달러(NT$)를 투자해 Nitrgen Trifluoride 플랜트를 건설할 계획이다.Nitrogen Trifluoride는 반도체 및 패널 분야에서 사용되는 특수 가스이다. Formosa Plastics Group에 따르면, Nitrogen Trifluoride 플랜트는 2004년 9월 가동에 들어갈 예정으로 초기 생산량은 200톤에 불과하나 전체 생산능력은 2005년 말까지 400톤, 2006년까지 800톤으로 확대될 예정이다. Nitrogen Trifluoride는 반도체 및 LCP(Liquid Crystal Panel) 생산에 주로 사용되는 세척용 가스로 타이완은 과거 Nitrogen Trifluoride 공급을 전량 수입에 의존해 왔다. 타이완의 Nitrogen Trifluoride 수요는 2004년 600톤에 달하고 2006년까지 1300톤으로 늘어날 것으로 전망되고 있다. 한편, 일본의 Central Glass 및 KDK도 최근 타이완에 Nitrogen Trifluoride 플랜트를 건설한다고 발표한 바 있다. <화학저널 2004/09/30> |
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