아남반도체, 연마제 국산화 성공
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아남반도체는 반도체 제조공정에 사용되는 산화막 슬러리(연마제)를 국산화하는데 성공했다고 7월16일 밝혔다. 아남반도체는 2년간 약 5억원의 개발비용을 투입해 산화막 슬러리를 개발했으며 현재 관련특허를 출원중이다. 아남은 중소기업인 동진쎄미켐에 산화막 슬러리 기술을 제공, 연간 관련제품 3000톤을 생산할 계획이라고 밝혔다. 아남은 슬러리 국산화를 계기로 칩 제조 집적화에 따른 원자재 국산화 연구개발 투자를 강화해 반도체 소재기술를 선도하기로 했다. <화학저널 2000/8/7> |
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