화학저널

MCH, 합성석영과 EL용 화학제품 증설 … 질화붕소 시트 개발도

미츠비시케미칼(Mitsubishi Chemical)이 반도체용 화학소재를 성장 분야로 설정하고 투자를 적극화하고 있다.
최근 5G(5세대 이동통신) 보급, 자동차 CASE(커넥티드‧자동화‧셰어링‧전동화) 트렌드 등을 바탕으로 반도체 정보처리‧기억‧센서 시장이 크게 성장하고 있으며 웨이퍼, 칩 등 각종 프로세스에서 기술혁신이 이루어지면서 관련 소재를 생산하는 화학기업들에게 새로운 사업 기회가 창출되고 있다.
미츠비시케미칼도 이미 높은 시장점유율을 확보한 합성석영, 고순도 화학약품(EL 약품) 생산능력을 확대하고 있고 포토레지스트(Photoresist)용 원료 폴리머나 현재 개발하고 있는 파워반도체용 방열소재인 질화붕소(BN) 시트 등 신제품을 앞세움으로써 공세를 강화하고 있다.
반도체 관련 사업 매출액을 현재의 수백억엔 수준에서 1000억엔대로 확대하기 위해 투자에 총력을 기울이고 있다.
미츠비시케미칼은 2020년 4월 반도체 본부를 신설하고 관련제품, 기술, 서비스를 아우르는 통합 브랜드 MCSS를 발표함으로써 세계 각국의 수요기업을 대상으로 원스톱 솔루션을 제공할 수 있는 체제 구축에 성공했다.
앞으로는 반도체 본부를 중심으로 빠르게 성장하는 글로벌 시장에 맞추어 선제적으로 투자함으로써 새로운 사업 기회를 확보하는 것을 목표로 하고 있다.
합성석영은 후쿠오카(Fukuoka) 공장에 신규 라인을 건설해 생산능력을 40% 확대할 계획이다. 2020회계연도(2020년 4월-2021년 3월)에 완공하고 2021회계연도 중 상업 가동할 방침이다.
반도체용 실리콘(Silicone) 웨이퍼 소재로 사용하는 단결정 잉곳은 다결정 실리콘을 석영 도가니에 넣은 후 융해시켜 제조하고 있으나, 석영 도가니를 구성하는 천연 실리카(Silica)가 불순물을 함유하고 있을 가능성이 있어 도가니 내부에 초고순도 합성석영 가루를 코팅시킴으로써 고순도 단결정 잉곳을 제조할 수 있는 것으로 알려졌다.
미츠비시케미칼은 합성석영 분야에서 세계 시장점유율 1위를 달리고 있으며 기존 설비 디보틀넥킹을 통해 생산능력을 확대한 지 얼마 지나지 않았으나 수요가 급증함에 따라 추가 증설을 결정했다.
반도체 제조공정 가운데 에칭이나 세정 과정에 사용하는 EL용 화학약품은 후쿠오카, 오나하마(Onahama) 공장과 타이완 공장에서 생산하고 있다.
일본에서는 일부 범용제품 생산을 중단하고 생산을 집약화해 최적화된 생산체제로 재편한 상태이며 최대 반도체 생산국인 타이완에서는 미세화‧적층화‧칩‧배선‧탑재 프로세스를 모두 추진하고 있다.
최첨단 프로세스에서 고순도 EL용 화학약품 니즈가 확대됨에 따라 타이완 공장의 생산능력을 50% 확대할 계획이다. 2021년 완공 후 인증작업을 거쳐 본격적인 공급을 시작할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
타이완 공장은 고순도 암모니아(Ammonia) 수 외에 타이완에서만 생산하고 있는 고순도 황산, 고순도 과산화수소 등을 주력 공급하고 있다.
신제품 개발도 가속화하고 있다.
포토레지스트용 원료 폴리머는 후발주자이지만 원료 생산기업으로서의 확고한 지위를 거머쥐는 수준으로 성장한 상태이고 극자외선(EUV)을 비롯한 차세대 기술 대응제품 개발에 주력함으로써 지위 향상을 도모하고 있다.
파워반도체 방열소재로 개발하고 있는 질화붕소 시트는 수요기업의 평가작업이 최종단계에 돌입했으며 2021-2022년 상업화가 가능할 것으로 예상하고 있다.
인수합병(M&A) 기회도 모색하고 있다.
미츠비시케미칼은 2018년 유럽, 미국 반도체 제조장치 부품을 대상으로 한 정밀 세정 서비스를 제공하고 있는 독일 Cleanpart 그룹을 인수했고, 2020년 5월에는 반도체 프리커서용 금속 화합물을 제조‧판매하는 미국 제레스트(Gelest) 인수 의사를 밝혔다. 가을경 지분 전량을 인수할 예정이다.
이밖에도 M&A를 적극화함으로써 성장이 기대되는 반도체 시장에서 위상 강화에 총력을 기울일 방침이다.