화학뉴스

미츠비시케미칼(Mitsubishi Chemical)이 반도체 소재 사업을 확대하고 있다.
미츠비시케미칼은 최근 반도체 호황을 타고 제조장치 세정 관련 수요가 급증하고 있다는 판단 아래 타이완과 유럽에서 운영하고 있는 세정 사업장을 확대하기로 결정했다.
포토레지스트용 원료 폴리머도 증설 투자를 검토하고 있으며 최근 인수를 완료한 미국 제레스트(Gelest)의 반도체 프리커서와 EUV(극자외선)용 원료 폴리머, 파워반도체용 방열소재인 질화붕소(BN) 시트 등을 직접 생산하는 방안도 검토하고 있다.
반도체 프리커서는 타이완에 연구실을 설치해 반도체 분야의 최대시장인 아시아 지역에 대한 공세를 강화할 계획이며 BN 시트는 일본에 신규 플랜트를 건설하고 본격적인 사업화에 나설 방침이다.
미츠비시케미칼은 2020년 4월 반도체 본부를 신설하고 포토마스크의 리소그래피에 사용하는 전자선 대전방지제 등 반도체 관련 소재를 모두 MCSS 브랜드로 통일해 공급하고 있다.
최근에는 디지털 사회로 전환이 이루어지면 IoT(사물인터넷), 자율주행 시장이 확대되면서 반도체 기술이 더욱 진화할 것으로 기대하고 소재 개발에 박차를 가하고 있다.
적극적인 투자로 기존사업에서 규모화를 추진하고 M&A(인수합병)를 통해 신제품 포트폴리오를 추가함으로써 전체 사업을 대폭 확장하는 것을 목표로 하고 있다.
반도체 제조장치 부품 세정 사업은 타이완과 유럽에서 증설 투자를 진행하고 있으며 불화아르곤(ArF) 포토레지스트 원료용 폴리머도 생산능력 확대를 계획하고 있다.
ArF용 폴리머는 쓰루미(Tsurumi) 공장에서 드라이 노광장치용, 액침 노광장치용 모두 수요기업이 원하는 사양에 맞추어 생산하고 있으며 다른 지역에도 공장을 건설해 증가하는 수요에 적극 대응할 방침이다.
신규공장은 2023년 상업생산을 목표로 하고 있으며 2021년 구체적인 부지 등을 확정해 발표할 예정이다.
신제품 포트폴리오 확충을 위해서는 2020년 인수한 제레스트의 반도체 프리커서 등에 주목하고 있다.
반도체 프리커서는 반도체 배선을 만드는 금속이 1층씩 자가 억제되며 쌓여 박막을 형성하는 ALD(원자층 추적) 공법과 기체화 후 금속이 반도체의 표면에 연속되게 쌓아 배선층을 형성하는 CVD(화학증착) 공법에 모두 대응이 가능한 것으로 알려졌다.
세계 최대 반도체 시장인 아시아 지역의 수요를 개척하기 위해 타이완에 연구실을 설치했으며 반도체 생산기업 및 제조장치 생산기업에 대한 제안을 가속화하고 있다.
포토레지스트용 원료 폴리머는 EUV용 개발을 진행하고 있으며 파워반도체 방열소재로 개발하고 있는 BN 시트는 후쿠오카(Fukuoka)에 신규 플랜트를 건설하고 조기 사업화하는 방안을 검토하고 있다. (K)