스미토모세이카(SSP: Sumitomo Seika Polymers)가 한국에서 일산화탄소(CO) 투자에 나서 주목된다.
스미토모세이카는 경기도 화성시 장안에서 반도체 제조공정에서 사용되는 고순도 일산화탄소를 생산하기로 결정했다.
그동안 일본 벳푸(Beppu) 공장에서 생산해 한국 수요기업에게 공급해왔으나 가까운 국내에서 직접 생산함으로써 안정공급체제를 강화할 방침이다.
기판의 수직 방향으로 기억소자를 적층해 대용량 데이터를 저장할 수 있는 3D낸드플래시 메모리 수요가 증가하며 고순도 일산화탄소 가스 수요가 늘어났고 서플라이체인 단절 리스크를 피하기 위해서는 수요기업 소재지에서 직접 생산할 필요가 있다고 판단하고 있다.
신규공장은 한국법인 스미세이케미칼의 기존공장의 맞은편 1만9000평방미터 부지에 건설하며 2021년 7월부터 공사를 시작해 2022년 중반이면 양산이 가능할 것으로 예상된다.
생산동, 가스 충진용기 보관시설, 사무동 등으로 구성하며 벳푸공장과 동일하게 순도 99.995% 이상 고순도 가스를 생산할 계획이다. 생산능력은 벳푸공장의 절반 수준을 검토하고 있다.
고순도 일산화탄소는 3D낸드플래시 메모리 제조 프로세스에서 에칭공정에 CF(Fluorocarbon)계 가스의 조제로 투입되며 불필요한 산화막을 깔끔하게 제거하는 역할을 하고 있다.
스미토모세이카는 일산화탄소를 직접 합성하고 고품질 가스로 공급할 수 있으며 표준 가스도 생산할 수 있는 것으로 알려졌다.
고순도 가스는 불순물인 금속 카보닐의 함유량이 0.1ppb 이하라는 점에서 호평을 받고 있다. (K)