JSR이 반도체 소재 투자를 가속화하고 있다.
JSR은 차세대 극자외선(EUV)용 금속 레지스트를 생산하는 미국 인프리아(Inpria)의 지분 21%를 보유하고 있으며 2021년 10월 말까지 나머지 79%도 인수해 100% 자회사로 편입할 방침이다.
현재도 ArF(불화아르곤), EUV 등 최첨단 레지스트 시장에서 높은 점유율을 확보하고 있으나 화학증폭형 레지스트를 사용하는 5나노미터 사양과 달리 차세대 3나노미터 이하는 금속 레지스트를 채용할 것이라는 기대 아래 투자에 나선 것으로 파악된다.
인프리아는 금속 레지스트 메이저이며 주석산화물계를 주력 생산하고 있다. 현재 사업가치는 약 5650억원으로 추산되고 JSR의 경쟁기업인 TOK도 출자한 것으로 알려졌다.
금속 레지스트는 기존의 화학증폭형 레지스트보다 EUV 광 흡수율이 수십배 높아 감도와 해상도가 뛰어나며 3나노미터 이하의 차세대 프로세스에서 채용이 본격화될 것으로 전망되고 있다.
현재 벨기에 마이크로일렉트로닉스연구개발기구(IMEC)와 대규모 파운드리들이 인프리아 생산제품에 대한 평가를 추진하고 있으며 예정대로 실용화되면 인프리아는 2022년 흑자 전환할 것으로 확실시되고 있다.
JSR은 인프리아와 10년 가까이 협업해왔으며 차세대 기술을 선제적으로 도입해 미래에도 시장에서 확고하 위치를 점하겠다는 목표 아래 인수를 결정했다.
반도체는 네덜란드 ASML이 3나노미터 프로세스용 차세대 노광기를 2023년부터 상업 가동할 계획이어서 신기술인 금속 레지스트도 점차 실용화될 것으로 예상되고 있다.
인프리아는 3나노미터 혹은 2나노미터 프로세스와 관련된 기술이 확립되고 더욱 미세한 1.x나노미터 기술까지 나온다면 금속 레지스트 수요가 급증할 것으로 기대하고 있다.
다만, 최근 화학증폭형 레지스트 기술 개발도 빠르게 이루어지고 있어 2종류의 레지스트 기술이 함께 EUV 시장 성장을 견인할 것으로 전망된다. (K)