2026년 02월 14일 (토)
테트라졸, 수용성 신제품으로 반도체 공략

도요보MC, CMP 슬러리 공정 조준 … 안정성과 취급 용이성 개선

윤우성 선임기자
화학뉴스 2026.02.12

일본 도요보MC(Toyobo MC)가 수용성 테트라졸(Tetrazole) 화합물로 반도체 시장을 공략한다. 
테트라졸은 질소 원자 4개를 포함하는 복소환식(Heterocyclic) 화합물로 마찰, 충격, 가열을 통해 질소를 방출・분해하는 성질을 지니고 있다. 다기능성이 특징이며 에어백용 가스 발생제를 중심으로 방청제, 에칭, CMP(화학적 기계연마) 슬러리 첨가제, 난연제로도 사용된다.
다만, 일부 테트라졸 화합물은 위험물안전관리법상 자기반응성 물질(제5류 위험물)로 분류되 취급에 주의가 필요하다.
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