9월20일 기흥 반도체공장 K2 지역에서 발생 … 전력 공급 불안정 우려 삼성전자 기흥 반도체공장 K2 지역에서 9월20일 오후 5시40분경 36초 가량 전압이 내려가는 현상이 발생했다.그러나 전압이 불안정해진 직후 비상 전원공급장치가 작동해 생산라인은 정상 가동되고 있다고 삼성전자는 발표했다. 전압강하는 대규모 전력을 사용하는 대형 공장에서 간혹 발생하는 현상인 것으로 알려져 있다. 삼성전자는 일단 라인 가동에는 문제가 없다는 사실을 확인하고 순간 전압 강하 현상이 발생한 원인을 찾고 있다. 전압 강하 현상이 발생한 곳이 8월 초 정전 사고가 났던 K2 지역이어서 전력공급이 불안한 것이 아니냐는 우려도 나오고 있다. K2 지역은 기흥 공장에서 낸드 플래시 메모리를 생산하는 7라인, 8라인, 9라인, 14라인과 비메모리 반도체를 생산하는 6라인과 S라인 등 모두 6개 라인으로 구성돼 있다. K2 지역은 8월3일 오후 2시30분부터 변전소 배전반 이상으로 정전이 발생해 라인 가동이 멈추었다가 하루만에 복구된 바 있다. 삼성전자는 “순간적으로 전압이 불안정해졌지만 UPS(무정전전원공급장치)가 바로 작동해 라인은 정상 가동되고 있다”면서 “지난번 정전사고와는 전혀 차원이 다르다”고 밝혔다. 하지만 관련기업 일부에서는 정전이 아닌 전압 강하라고 해도 그 순간에 작업 대상이 됐던 웨이퍼를 버려야 하는 피해가 있을 수 있다는 가능성을 배제하지 않고 있다. 초정밀 공정이 필요한 반도체 생산은 적정 온도와 습도 등 각종 환경이 최적화돼 있어야 하는데, 전압 강하가 악영향을 미칠 수 있기 때문이다.<저작권자 연합뉴스 - 무단전재ㆍ재배포 금지> <화학저널 2007/09/21> |
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