Merck, 최첨단 태양전지 설비 공급
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양산형 자동화 장비 2009년 9월 독일 Merck와 쉴러오토메이션은 실리콘 웨이퍼(Silicone Wafer) 태양전지를 만드는 핵심공정인 에지분리(Edge Isolation: 실리콘 웨이퍼 p-n접합면에서의 전극분리)를 위해 기술협력을 발표했다. 이에 따라 혁신적인 공정장비 모델이 4월 27-29일 독일 슈트트가르트에서 열리는 태양광 박람회 <Photon Technology Show 2010>에서 공개된다. 결정형 실리콘 웨이퍼의 에지 분리를 완전 자동으로 처리하는 공정에 들어가는 것으로 Merck가 개발한 에칭 페이스트 제품인 <SiD (Isishape SolarEtch®>가 사용된다. 양사의 기술 협력은 태양전지의 와트당 생산비용 절감을 목표로 한 것으로 다양한 관련기업과 연구소의 효율 검증을 거쳤으며, 신뢰성 있는 결과를 바탕으로 양산 라인에 적용할 수 있는 <SE lab>을 개발하는데 성공했다. 새로운 공정 컨셉은 기존의 습식 화학분리 방법(Comprehensive Wet Chemical Isolation)이나 레이저 분리 공정 등 에지분리 방식에 비해 많은 장점을 가지고 있어 웨이퍼의 후면 에칭에 신속하고 정확하게 사용할 수 있는 것이 특징이다. 머크의 R&D 구조화 솔루션팀을 이끌고 있는 잉고 쾰러 박사는 “쉴러오토메이션과의 파트너십으로 양산 공정에 적용할 수 있는 제품을 단기간 내에 개발할 수 있었다”며 “전시회가 끝나면 <SE lab>을 Merck 본사에 있는 애플리케이션 실험실에서 가동하고 실제 양산 조건에서 공정 테스트를 진행할 것”이라고 전했다. 쉴러 오토메이션의 고객센터 디렉터인 칼-하인츠 반뮐러는 “Merck가 양산조건에서 맞춤형 웨이퍼를 처리할 수 있게 됐으며, 시험 가동 이후에는 시간당 3000-4000개의 웨이퍼를 투입할 수 있는 생산규모로 늘릴 예정”이라고 말했다. 이번에 개발된 장비는 자동화 유연성이 높아 개별기업의 생산라인과 장비를 손쉽게 조화시킬 수 있다는 것이 특징이다. 또한 에지 분리 외에 태양전지 구조를 변경해 MWT(Metal Wrap Through) 전지 등에도 적용할 수 있다. <SE lab> 시연은 박람회 전시홀 4번에 설치된 쉴러오토메이션 부스(J2)에서 볼 수 있다. 쉴러오토메이션과 Merck의 전문가들이 현장에서 직접 참가자들의 질문에 응대하며 새로운 장비와 에지분리에 관해 설명할 예정이다. <고우리 기자> <화학저널 2010/04/22> |
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