< 반도체용 가스 > Showa Denko Asahi Glass
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Showa Denko KK는 전자부문 집중투자 계획의 일환으로 Asahi Glass의 반도체 처리 Specialty Gas 및 Waste Gas 처리사업을 인수하기로 했다. Tetrafluoromethane(CF4), Trifluoromethane(CHF3), Sulfur Hexafluoride(SF6), Hexafluoroethane(C2F6), Nitrogen Trifluoride(NF3), Scrubbers 등 Asahi의 Fluorine계 Specialty Gas 사업부가 인수대상이다. Asahi의 Specialty Gas 사업은 현재 Fluorine계 가스, Scrubbers, 고순도 화학제품에 집중되고 있으며 총매출은 150억엔(1억2500만달러)에 달하고 있다. SDK는 1998년 Air Products & Chemicals와 합작으로 Showa Denko Air Products를 설립, 일본 Kawasaki에서 Fluorine계 Specialty 가스를 생산하고 있다. 대만에도 합작으로 Showa Specialty Gas를 설립, 반도체용 가스제품 및 Scrubber를 판매하고 있다. <화학저널 1999/6/21> |
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