Denso, 구경 15cm 웨이퍼 제작 … Hitachi는 자동차 부재에 주력
화학뉴스 2015.11.25
Denso 및 Hitachi가 친환경자동차 제조용 탄화규소(SiC) 파워 반도체 개발에 주력하고 있다.
Denso는 독자 제조공법을 통해 결정결함을 억제한 구경 15cm 웨이퍼를 활용해 소자 양산을 꾸준히 추진함으로써 소형모듈을 샘플 제작했고, Hitachi는 양면 수냉 모듈을 통한 차별화를 계획하는 등 양사 모두 내압 1200볼트, 효율적인 모터 제어 등을 목표로 하고 있다. Denso는 SiC 웨이퍼 가공에서 모듈까지 일괄생산체제를 구축하고 있으며, 반도체의 수율을 좌우하는 결정결함을 억제하기 위해 20년 전부터 결함이 생겨도 세로 방향으로 관통하지 못하게 하는 기술을 개발했다. 세로방향과 가로방향에서 결정성장을 반복하는 <RAF(Repeated Acegrowth Method)> 공법을 통해 결함 저감율은 99 이상, 타사의 10분의 1 수준으로 억제한 것으로 알려졌다. 그동안 구경 10cm 웨이퍼가 한계치로 여겨져 왔으나 RAF 공법을 통해 대구경화가 가능해졌으며, 2015년 5월에는 Showa Denko, 전력중앙연구소와 공동으로 SiC 단결정막의 고품질 및 고속제조 기술을 확립했다. 현재는 하이브리드자동차(HV) 및 플러그인하이브리드자동차(PHV), 전기자동차(EV) 등 친환경자동차의 모터를 제어하는 파워 컨트롤 유닛 등에 대한 적용을 추진하고 있으며, SiC-MOSFET(전계효과트랜지스터)를 활용해 양면공기냉각 타입의 소형 인버터 모듈도 개발하고 있다. Hitachi는 자동차 부재 개발에 주력하고 있는 것으로 알려졌다. 주행차선 이탈 방지 및 후진 페달 착오 방지, 차량정체 시의 추돌사고 방지를 등 2018년까지 운전지원시스템을 개발하는 것을 목표로 친환경자동차에 필수적인 LiB(Lithium-ion Battery) 및 모터, 풀 SiC 인버터 등 파워트레인계 개발에도 주력할 방침이다. <L> <화학저널 2015/11/25> |
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