일양, 반도체용 광산발생제 개발
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일양약품은 256메가D램급 이상의 반도체 핵심원료인 광산발생제(光酸發生劑)) 국산화에 성공, 양산체제에 돌입했다고 9월20일 밝혔다. 광산발생제(Photoresist)는 64메가D램 5세대 및 256메가D램급 이상에 사용돼 빛을 쪼이면 반도체 회로가 새겨지도록 유도하는 엑시머 레이저용 화학물질로 그동안 해외에서 전량 수입해 사용해 왔다. 특히, 1999년 하반기부터 메모리 반도체의 주력품목이 256메가D램으로 세대교체가 이뤄질 전망이어서 국내외 공급요청이 잇따를 것으로 보인다. <화학저널 1999/10/4> |
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