국내 중소기업이 8년 전 일본 수출규제 대상품목 가운데 하나인 초고순도 불화수소(에칭가스) 제조기술을 확보했던 것으로 나타났다.
특허정보 검색서비스(KIPRIS)에 따르면, 산업기계 생산기업 A사는 2011년 7월 초고순도 불산(HF) 제조방법 특허를 출원했고 2013년 9월 특허가 등록됐다.
초음파 진동을 가하는 방법으로 불화수소(불산) 중 수분을 제외한 불순물 성분이 1ppb(10억분의 1)만 남도록 하는 기술이다. 또 특정 상황에서는 불순물 농도가 최저 0.1ppb(100억분의 1)까지도 줄어들 수 있다.
국내 반도체기업들이 일본으로부터 수입하던 불화수소는 순도가 99.9999999999%인 것으로 알려져 불순물이 100억분의 1 수준 함유돼 있다는 의미이다.
반도체 관계자는 “일본제품보다 순도가 낮은 것은 사용해본 적이 없기 때문에 순도를 조금 낮춰도 괜찮을지 알 수 없다”면서 “6개월 이상의 시간을 들여 테스트를 해보아야 한다”고 말했다.
A사는 특허 출원 이후 초고순도 불화수소 생산과 판매까지 나아가지는 못했다. 
제조공장과 함께 각종 장비에 대한 설비투자가 필요한 가운데 실제 판매가 가능할지 확정할 수 없는 상황에서 섣불리 추가 투자 결정을 내리지 못한 것으로 알려졌다.