고순도황산 시장 “답보상태”
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고순도황산 시장이 감소세에서 약상승로 전환했으나 정체를 보이고 있다. 1999년들어 반도체산업이 유례없는 호황을 보였으나 세정제인 고순도황산 사용량은 8920톤으로 1997년 1만3200톤에 비해 47% 감소했다. 현대전자 이천공장이 Reprocessing 공정을 채택함에 따라 전체적으로 물량이 감소했기 때문이다. 현대전자 이천공장은 청정지역인 상수도 특별관리 보호구역에 위치해 각종 반도체 세정화학물질의 규제가 엄격함에 따라 황산 재활용설비 즉, CRS(Chemical Reclaim System)를 적용했다. Reprocessing 설비는 황산의 끓는점이 매우 높아 고온·고압으로 인한 폭발의 우려가 있고, 1기를 설치하는데 10억원의 비용이 소요될 뿐만 아니라 2000년1월 기준 고순도황산(96%) 가격이 kg당 950원 이하로 크게 하락함에 따라 채산성이 별로 없는 설비로 알려졌다. 삼성전자도 Fab-3, 8라인에 Reprocessing 설비를 도입했으나 현재 사용을 중지한 것으로 알려졌으며 공정처리 후 발생하는 폐황산은 위탁처리하고 있는 실정이다. 표, 그래프 : | 반도체 라인별 고순도황산 사용량(1999) | 고순도황산 수출추이 | <화학저널 2000/8/14/21> |
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