NF3 수급타이트 2001년 해소
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Air Products & Chemicals이 Nitrogen Trifluoride(NF3) 공급부족을 해소하기 위해 대규모 증설을 추진한다. Air Products & Chemicals는 미국 펜실베니아주 Hometown 소재 NF3 80만파운드 플랜트의 생산능력을 2001년 2/4분기까지 175만파운드로 95만파운드 증설할 계획이다. 2000년8월까지 1차로 15만파운드를 증설한 후 2002년2월까지 2차로 40만파운드, 2001년5월까지 3차로 40만파운드를 증설하고, 반도체산업이 급성장함에 따라 반도체 설비 증설에 잇따라 반도체용 NF3 수요가 증가하고 있으나 공급이 부족하기 때문이다. Air Products는 NF3 생산능력이 1995년 20만파운드에 불과했으나 반도체용 수요가 급신장함에 따라 1999년까지 80만파운드로 증설한 바 있다. <화학저널 2000/9/4/11> |
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