KDK-CG, Nitrogen Trifluoride 580톤 증설계획
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Kanto Denka Kogyo는 일본 Shibukawa 소재 Nitrogen Trifluoride(NF3) 플랜트의 생산능력을 200톤에서 400톤으로 200톤 증설할 계획이다. 2001년 여름 완공 예정이다. KDK는 2002년 200톤을 추가 증설하는 방안도 검토중이다. Central Glass도 Ube 소재 NF3 플랜트 생산능력을 2000년말까지 240톤으로 100% 증설하고, 2001년까지 300톤으로 60톤을 추가 증설할 계획이다. Air Products & Chemicals과 Mitsui Chemicals도 NF3를 증설할 계획이라고 2000년 여름 발표한 바 있다. NF3는 반도체 제조공정에서 Chamber 세척에 사용된다. <CW 2000/10/11> <화학저널 2000/12/11> |
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