[반도체소재]
초순수, 반도체용 국산화 가속화

환경부, 국산화 협의체 회의 개최 … 5개 과제에 480억원 투입

화학뉴스 2021.08.25

정부가 일본의 반도체 분야 수출규제에 대응하기 위한 초순수 국산화를 서두르고 있다.
환경부는 8월26일 경기도 과천 한국수자원공사 한강유역본부에서 반도체 초순수 국산화를 위한 협의체 첫 회의를 개최할 예정이다.
수자원공사, 한국환경산업기술원, 사단법인 한국물포럼을 비롯해 정부, 공공기관, 학계, 산업계 관계자가 참여해 심층 토론을 진행하기로 했다.
회의는 제13차 혁신성장 빅(BIG) 3 추진회의 중점 추진과제 가운데 하나인 반도체 초순수 생산 국산화 기술 개발(2021-2025년) 방안을 논의하기 위해 마련됐다.
국내 반도체산업은 반도체 가공과 세척에 필요한 초순수를 일본산 등 수입에 의존하고 있다.
초순수는 수십개의 단위공정이 긴밀하게 결합돼 고품질제품을 생산하는 것이 쉽지 않은 것으로 알려졌다.
환경부는 국산 초순수 상용화에 필요한 5개 과제에 480조원을 투입할 예정이다. ▲유기물 자외선 산화장치 개발 32억원 ▲용존산소 제거 탈기막 개발 24억원 ▲하루 2400톤의 실증 플랜트 건설 337억원 ▲초순수 인증평가 및 검증체계 마련 25억원 ▲반도체 폐수 재이용률 향상 46억원 등으로 알려졌다.
초순수는 2018년 기준 국내시장이 1조여원, 글로벌 시장은 19조3000억원에 달했으며 2024년 국내시장이 1조400억원, 글로벌 시장은 23조1000억원으로 성장할 것으로 예상되고 있다.
8월26일 회의에서 환경산업기술원은 초순수 생산공정 국산화 기술 개발 사업 이행안과 과제별 지원 계획을 제시하고, 최근 플랜트 부지로 결정된 국내기업은 부지·건축물, 기술 국산화 이후 플랜트 적용에 필요한 사항을 정부와 관계 기관에 요청할 계획이다.
수자원공사는 초순수 국산화, 설계·시공·운영이 통합된 국산화 기술 개발, 수요기업 협업 등을 발표하며, 씨제이케이얼라이언스는 산업계를 대표해 성능 검증체계 등 국산화와 사업화에 필요한 점을 제언하기로 했다.
송용권 환경부 물산업협력과장은 “반도체 초순수 기술 개발을 통해 수입 의존을 벗어남과 동시에 물산업에서 해외진출의 교두보를 마련할 계획”이라며 “반도체 초순수 생산 기술 국산화 및 상용화의 성공을 위해 연구개발 수행기관, 관련 산업계 등과 지속해서 긴밀한 협의를 이어가겠다”고 강조했다. (강윤화 선임기자)

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