듀폰(DuPont)이 반도체 제조용 세정약품 고순도화 사업에 진출한다.
반도체는 미세화의 영향으로 초순수와 세정약품의 품질이 수율을 좌우하는 중요한 요소로 부상하고 있다.
듀폰은 초순수 분야에서 축적한 기술을 중심으로 시장을 흡수해 반도체 관련 사업을 확대할 계획이다.
전공정에서 자주 사용하는 과산화수소, IPA(Isopropyl Alcohol) 등 세정약품은 반도체 미세화의 영향으로 약품에 포함되는 미량의 금속과 TOC(Total Organic Carbon)가 불량을 유발하는 사레가 증가하면서 더욱 높은 순도를 요구하고 있다. 고대역폭 메모리(HBM)와 최첨단 로직 반도체는 수율 확보를 위해 약품의 순도 지표가 매우 엄격한 편이다.