High-NA, 저열팽창 유리 요구 고도화
유리는 빛을 투과시키면서 강성이 높은 특성 덕분에 반도체산업에서 필수 소재로 사용되고 있다.
대표적으로 유리 렌즈는 반도체 제조장비에 사용되고, 유리 코어(글래스 코어)는 유기기판의 약점을 개선하기 위해 활용되며 포토마스크의 원판인 마스크 블랭크 역시 고순도 유리를 원료로 사용하고 있다.
빛을 이용해 웨이퍼에 미세한 패턴을 형성하는 포토리소그래피 공정에서는 빛을 조절하기 위해 유리 렌즈와 반