중국, 고순도 불화수소 수요 급증
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2004년 고순도 Reagent용 2180톤 … 2009년까지 연평균 13% 증가 2004년 중국에서 전자 그레이드 불화수소(Electronic-Grade Hydrogen Fluoride)라 불리우는 고순도 불화수소(Super-Pure Hydrogen Fluoride) 생산기업이 8사의 생산능력이 3050톤에 달한 것으로 나타났다.생산량은 2003년 810톤에서 2004년 930톤으로 줄었다. 주요 생산기업은 Beijing Research Institute of Chemical Reagents, Fujian Shaowu Yongfei Chemical, Atofina Fluorine Chemical, Suzhou Sanhe Microelectronic Materials Development, Suzhou Jingrui Chemical 등이 있다. 중국에서는 고순도 불화수소가 마이크로 전자 부문의 Wet 프로세스 에칭(Etching) 및 클리닝(Cleaning)에 사용된다. 고순도 Reagent는 대형 및 초대형 집적회로(Integrated Circuit) 생산의 주요 화학원료로 순도에 따라 불량률, 전기적 특성 및 전반적 품질이 좌우된다. 중국은 마이크로 전자 부문이 최근 급속히 발전함에 따라 고순도 Reagent 수요 또한 증가해 고순도 불화수소 수요가 2003년 1610톤, 2004년 2180톤을 기록했고 2009년까지 연평균 13% 증가해 4000톤을 넘어설 것으로 전망된다. 중국의 불화수소 수입량은 2002년 715톤, 2003년 801톤, 2004년 1321톤으로 꾸준히 증가했는데 수출이 산업용 그레이드 위주로 비교적 저가인 반면 수입은 모두 고순도 그레이드로서 가격이 수출가격보다 훨씬 높은 편이다. 2004년 수출량은 6만8800톤에 달했고 평균 수출가격이 FOB 톤당 553달러였던 반면, 수입가격은 CIF 톤당 평균 2356달러를 형성했다. 2005년 중국의 불화수소 수입량은 1-2월 236톤으로 수입가격은 CIF 톤당 평균 2301달러를 나타냈으며 수출량은 1만2528톤으로 FOB 톤당 평균 596달러를 형성했다. 중국의 집적회로 생산량은 1994-2003년 연평균 52.2% 증가했고, 0.25μm 이하 제품을 생산할 수 있는 기술이 개발될 수 있을 것으로 보여 SEMI의 높은 기준에 맞는 고순도 Reagent 수요가 점차 증가할 것으로 전망된다. <화학저널 2005/09/15> |
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