반도체, 나노임프린트기술 부상
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미세화에 코스트 절감이 공통과제 … 미국이 특허출원 50% 장악 나노임프린트(Nanoimprint) 기술이 21세기 들어 반도체의 미세가공기술로 기대를 모으며 사용분야를 확대하고 있다.그러나 일본 특허청이 나노임프린트 특허출원을 조사한 결과, 특허 출원건수와 논문 발표수의 절반 이상을 미국이 차지하고 있어 기술개발이 시급히 요구되고 있다. 일본은 나노임프린트 기술 시장이 30년 후 10조엔 이상으로 확대될 것으로 예상하고 기술력 강화를 위해 반도체 분야 연구개발을 적극 추진할 계획이다. 나노임프린트 기술은 몰드(Mold)를 레지스터(Register)에 넣고 누른 후 형성한 패턴(Pattern)을 수지에 옮기는 기술로, 기존의 석판인쇄(Lithography) 기술보다 낮은 코스트로 미세한 패턴을 형성할 수 있어 주목받고 있다. 표, 그래프 | 일본의 나노임프린트 기술특허 출원동향 | <화학저널 2007/7/2> |
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