일본, 반도체 소재 기술 “고도화”
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Air Water, 미국 SAFC Hitech과 제휴 … 박막에서 데이터까지 일본 Air Water가 반도체 소재 분야에서 새로운 사업모델 구축에 나서 주목된다.Air Water는 미국 SAFC Hitech과의 제휴를 통해 디바이스 메이커 등 수요처에 대한 기술지원을 강화할 방침이다. 종합개발연구소에 마련한 설비를 활용해 박막의 샘플 제작 및 분석이 가능하기 때문에 수요처들이 R&D에 필요한 박막 데이터를 제공할 수 있다. 메모리 반도체 분야에서 가시적인 성과가 나타나고 있어 2009년 중으로 양산 프로세스에 채용될 가능성이 높아지고 있다. Air Water와 2007년 공동개발계약을 체결한 SAFC Hitech는 시약 전문기업 Sigma-Aldrich의 자회사로 전신은 화합물반도체용 유기금속 생산기업인 영국의 Epichem이었으나 Sigma-Aldrich 산하에 들어가면서 실리콘 반도체용 프리커서(Precursor) 사업이 추가됐다. 그러나 프리커서 등 반도체용 화학제품을 취급하는 기업들은 소재에 대한 지식은 있어도 소재를 사용해 만들어진 박막의 특성에 대한 데이터가 부족해 문제시되고 있다. 최근에는 반도체는 프로세스 미세화와 다층화가 진행되고 있어 디바이스 및 제조장치 생산기업들은 다양한 박막소재 개발이 요구되고 있어 개발비용에 대한 압력도 점차 확대되는 상황이다. 이에 Air Water는 SAFC와 함께 고도의 기술지원을 실시할 방침이다. Air Water의 종합개발연구소는 원자증착법(ALD) 등의 성막설비를 비롯해 각종 분석장치 등을 갖추고 있어 개발 초기단계의 샘플제작은 물론 박막의 특성에 대한 데어터도 얻을 수 있어 수요처 요구에 알맞은 소재 제작이 가능하다. Air Water는 앞으로 메모리 반도체 분야에 이어 로직 분야에도 주력할 방침으로 일본은 물론 한구과 타이완 등에서도 판로확대를 이어갈 생각이다. <화학저널 2009/06/25> |
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