인천 레지스트 공장 생산 본격화 … 한국 점유율 50% 달성 목표
화학뉴스 2014.08.25
Tokyo Ohka Kogyou(TOK)의 한국 인천 소재 첨단 레지스트 공장이 생산을 본격화한다.
TOK가 지적재산권의 핵심인 최첨단제품의 개발부터 생산까지 국내에서 실시하는 것은 사업계속계획(BCP: Business Continuity Plan)과 장래성을 염두에 두고 공급능력을 확보하기 위한 것으로 해석되고 있다. 반도체 프로세스의 미세화가 한층 진보함에 따라 대응할 수 있는 전자소재 공급기업들이 감소하고 있기 때문이다. 레지스트 메이저로는 유일하게 해외에서 본격 생산을 시작한 TOK의 세계시장 점유율은 30% 수준으로 한국시장 점유율 50%를 달성할 목표를 세우고 있다. TOK와 삼성물산의 합작기업 TOK 첨단소재는 2013년 10월 ArF(불화아르곤) 액침 노광기를 겸비한 최첨단 레지스트 공장을 완공하고 ArF와 KrF(불화크립톤) 레지스트를 생산할 계획이다. 신공장은 본격적인 연구개발(R&D) 기증을 겸비한 것이 특징으로 한국에는 최첨단 레지스트 생산기업이 아직 육성되지 않아 차세대 프로세스를 개발하는 TOK에 관심이 집중되고 있다. 작업공정마다 보안시설을 설치하는 등 지적재산권 유출을 억제하기 위한 다각도의 노력을 기울이는 한편으로 현지 수요처와의 일체감을 강화할 방침이다. 코스트 경쟁력을 향상시키기 위해 고순도 소재의 현지조달율도 확대해나갈 계획이다. 생산한 레지스트는 세계 각국으로 수출할 계획이며 한국시장 점유율 50%를 달성할 목표를 설정하고 있다. TOK가 한국 진출을 결정한 2012년에는 반도체 프로세스가 선폭 30나노미터 수준이었으나 현제는 20나노미터로 세대가 바뀌었다. 앞으로는 더욱 높은 기술레벨이 필요할 것으로 예상될 뿐만 아니라 수요기업의 요구에 대응하기 위해서 일본 Koriyama와 인천 양극 체제구축이 불가피했다. 수요기업들은 예측 불가능한 상황에 대비한 BCP 대책을 중시하고 있는 가운데 TOK는 Koriyama와 인천에서 BCP 대응도 실시할 계획이다. TOK는 차차세대 선폭 14나노미터 프로세스로 승부수를 띄울 계획으로 스마트폰과 서버용 등 고성능 반도체 수요가 확대되고 있는 가운데 첨단 레지스트 공급이 타이트할 것으로 전망하고 있다. 신공장은 현제 일직체제로 생산능력은 일본 Fukushima의 Koriyama 소재 공장의 절반 수준으로 150억엔 가량의 대규모 자금을 투입한 것으로 알려졌다. <화학저널 2014/08/25> |
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