LG LCD, 포토마스크 공정기술 개발
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LG LCD는 TFT LCD(초박막 액정표시소자) 라인의 생산성을 20%정도 높일 수 있는 새로운 포토마스크 공정기술을 개발했다고 7월7일 발표했다. 신공정기술은 얇은 유리기판 위에 여러층의 막을 입혀 TFT(박막트랜지스터)를 형성시키는 공정에 소요되는 마스크 수를 기존 6-7개에서 5개로 줄일 수 있는 기술이다. 특허출원을 끝마쳤다. LG LCD는 신기술을 생산라인에 적용, 신규투자없이 월 1만8000장의 LCD 추가생산이 가능해져 생산성을 20%, 제품 생산수율은 3-4% 향상시킬 수 있게 됐다고 밝혔다. <화학저널 1999/7/19> |
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