Slurry
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개 황 Slurry는 반도체 화학약품 중 가장 각광받게 될 품목이다. 웨이퍼사이즈의 대구경화(8인치로), 선폭의 미세화 등의 진전으로 웨이퍼를 자주 깎아주어야 돼 반도체기업들이 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 즉, 평판화기술을 중요하게 여겨 표면광택제로서 연마재 역할을 하는 Slurry의 중요성이 부각됐기 때문이다. Slurry는 현재 국내 생산기업이 없어 전량 수입에 의존하고 있으며, 향후 에이스산업이 미국의 STI와 기술제휴해 생산할 계획이다. 현재는 서진과학, RNP Korea, 서진엘렉트론, 에이스산업, 동덕무역에서 Cabot, Rodel, STI, Mayco, Fujimi 제품을 수입하고 있다. 표, 그래프 : | Wet-Chemical 시장규모 | 국내 Wet-Chemical 시장규모 | <화학연감 2000> |
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