머크(Merck)가 평택에서 반도체 소재 연구를 가속화한다.
머크는 경기도 평택 송탄산업단지에 한국 첨단기술센터(K-ATeC)를 개소해 반도체 웨이퍼 표면을 연마·평탄화하는데 사용하는 화학처리기계연마(CMP) 슬러리 및 포스트-CMP 클리닝에 대한 연구개발(R&D)을 수행할 계획이라고 6월30일 밝혔다.
첨단기술센터 설립에는 350억원 이상을 투자했고 면적 3240평방미터에 총 5층 건물로 완성했다.
첨단기술센터는 수요기업 평가를 위한 샘플링 랩, CMP 소재를 설계하고 분석하는 리서치 랩, 300mm CMP 웨이퍼 연마 시스템, 웨이퍼 결함 검사 장비 등 전문설비가 갖추어진 클린룸으로 구성돼 있다.
머크는 최근 버슘머트리얼즈(Versum Materials), 인터몰레큘러(Intermolecular)를 잇달아 인수하는 등 반도체 소재 사업을 육성하고 있으며 평택 R&D센터 설립 역시 반도체 소재 사업 확장을 위한 것으로 분석된다.
최근 머크를 비롯해 글로벌 반도체 관련기업들의 국내 투자가 잇따르고 있다.
2019년에는 듀폰(DuPont)이 천안에 극자외선(EUV)용 포토레지스트 공장을 건설하기로 결정했고 세계 3대 반도체 장비 생산기업 램리서치(Lam Research)도 경기도에 R&D센터를 설립키로 했다.
일본 반도체 장비 생산기업인 도쿄일렉트론(TEL)은 2020년 초 평택에 대규모 지원센터를 준공했다. (K)