화학저널 2022.07.11

MGC, 고순도 과산화수소 9만톤 건설 … 일본기업 진출 가속화
일본에서 반도체 소재를 생산하는 화학기업들이 중국 투자를 본격화하고 있다.
MGC(Mitsubishi Gas Chemical)은 중국 중부 후베이성(Hubei)의 샤오간(Xiaogan)에 2022년 9월 가동을 목표로 반도체 세정에 사용하는 초고순도 과산화수소 9만톤 공장을 건설하고 있다.
현재도 글로벌 초고순도 과산화수소 시장에서 점유율 60%로 1위를 달리고 있으나 주요 시장인 중국 현지에도 최초로 생산체제를 확충함으로써 사업 확대에 박차를 가할 계획이다.
초고순도 과산화수소는 실리콘(Si) 웨이퍼와 반도체 기기 제조공정에서 세정, 에칭, 연마에 사용되며 소독‧표백에 사용하는 공업용 과산화수소의 순도를 높여 제조하고 있다.
중국은 연안부 장쑤성(Jiangsu)의 타이싱(Taixing)에서 과산화수소와 전자부품 에칭에 사용되는 화학연마액 공장 건설이 활발히 진행되고 있으며 MGC의 초고순도 과산화수소수 공장과 비슷한 시기에 가동을 시작할 것으로 알려졌다.
MGC는 고품질 과산화수소 생산이 가능한 프로세스를 채용하고 원료부터 초고순도 과산화수소까지 일관생산함으로써 중국의 반도체용 수요 확보를 적극화할 계획이다.
중국은 초고순도 과산화수소 시장이 2021년 10만톤에 달했고 연평균 5-7% 성장할 것으로 전망되고 있다.
벨기에의 솔베이(Solvay), 타이완의 창춘그룹(ChangChun Group)도 연안부에서 초고순도 과산화수소 공장을 가동하고 있으며, MGC는 경쟁기업이 진출하지 않았을 뿐만 아니라 반도체 생산기업들이 집적된 후베이성에 진출함으로써 사업 기반을 강화할 방침이다.
MGC는 일본, 한국, 타이완, 싱가폴, 미국에서 초고순도 과산화수소를 생산하고 있으며 11번째 생산기지가 될 중국공장까지 가동하면 전체 생산능력이 64만4000톤으로 16.2% 확대된다.
타이완에도 2023년 가동을 목표로 과산화수소 원료부터 일관생산하는 공장을 건설할 계획이며 앞으로 전세계에서 반도체 호황 및 설비투자가 가속화될 것으로 예상됨에 따라 경제 안전보장 관점에서 일본 사업장의 제조기반 강화도 추진한다.
세계 각지에서 과산화수소를 공급할 수 있다는 강점을 바탕으로 시장 동향에 신속히 대응하며 새로운 사업기회를 확보하는 것을 목표로 하고 있다.
중국 반도체 시장은 첨단 분야를 둘러싼 미국과의 마찰에 고전하고 있으나 성숙 분야를 중심으로 투자가 활성화되고 있다. 특히, 정부가 앞장서서 반도체산업을 육성하고 있어 일본 화학‧소재 생산기업들의 진출 및 설비투자 확대가 가속화되고 있다.
후지필름(Fujifilm)은 2022년부터 장쑤성 쑤저우시(Suzhou)에서 반도체 전공정에서 표면연마 후 세정에 사용하는 포스트 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 클리너 약액을 생산할 계획이다.
후지필름은 포스트 CMP 클리너 메이저이며 그동안 일본 오이타(Oita)에서 생산해 세계시장에 공급해왔으나 중국 수요가 증가함에 따라 현지 생산체제를 정비하기로 했다.
스미토모베이클라이트(Sumitomo Bakelite)는 글로벌 시장점유율 1위를 확보하고 있는 반도체 봉지재 분야에서 설비투자를 본격화하고 있다.
장쑤성 쑤저우 공장 생산능력을 1.5배 확대했으며 현지 수요가 계속 증가함에 따라 추가 증설을 검토하고 있는 것으로 알려졌다.
반도체 제조공정에서 성막, 에칭, 세정 등에 사용하는 고순도 가스 분야는 쇼와덴코(Showa Denko)가 메이저이며 최근 상하이시(Shanghai)에 2번째 공장을 완공한 것으로 파악되고 있다.
다이킨(Daikin)은 2022년 10월 가동을 목표로 건설하고 있는 장쑤성 창수시(Changsu)의 2번째 공장에서 에칭가스 등 반도체 관련제품을 생산할 예정이다.
일본산소(Nippon Sanso)는 2023년 말까지 장쑤성 양저우(Yangzhou) 공장에서 반도체 회로 형성에 사용하는 디보란(Diborane) 생산능력을 2배 확대한다.
중국기업과 연계해 생산능력을 확대하고 있는 일본기업도 주목된다.
간토덴카(Kanto Denka)는 2022년 중국기업과 합작으로 안후이성(Anhui)의 쉬안청(Xuancheng)에 고순도 가스 공장을 건설할 예정이고, 센트럴글래스(Central Glass) 역시 중국기업과 합작해 저장성(Zhejiang)의 취저우(Quzhou)에서 반도체 성막에 사용하는 육불화텅스텐(WF6)을 생산할 계획이다.
바스프(BASF)도 중국기업으로부터 원료를 공급받아 2023년 저장성 자싱(Jiaxing) 공장의 반도체용 고순도 황산 생산능력을 2배 확대하는 방안을 검토하고 있다. (강윤화 선임기자)
<화학저널 2022년 7월 11일>
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