켐트로닉스(대표 김응수)가 반도체 극자외선(EUV) 포토레지스트 공정용 PGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate) 국산화에 성공했다.

켐트로닉스는 평택공장에서 순도 99.999%(5N)의 초고순도 PGMEA를 양산해 EUV 공정을 사용하는 국내외 반도체 파운드리에게 공급하기 시작했다.
PGMEA는 EUV 공정에서 회로 패턴을 형성하는 포토레지스트의 약 70-80%를 차지하는 용제이며 국내 수요기업들은 원래 일본산을 주로 사용했으나 2019년 일본이 반도체 소재 수출규제에 나서며 국산화 열풍이 불었다.

켐트로닉스는 2022년 PGMEA를 처음 개발했으며 1년 이상 품질 평가를 진행해 수요기업으로부터 최종 공급 승인을 받았다.
켐트로닉스의 초순도 PGMEA는 금속성 불순물을 10PPT 이하로 줄였을 뿐만 아니라 독성물질인 베타-아이소머 함량을 1PPM 이하로 줄이는데 성공했다. 친환경성을 강화했을 뿐만 아니라 최근 반도체산업에서 요구되는 ESG(환경·사회·지배구조) 기준을 충족한 것으로 파악된다.

켐트로닉스는 PGMEA 생산능력이 2만5000톤이며 공급을 시작한 파운드리 공장(팹) 뿐만 아니라 신규 팹에 적용될 가능성이 높다는 판단 아래 조기에 5만톤 체제로 확대하는 방안을 검토하고 있다.
평택공장은 최초 설계부터 증설을 염두에 두고 투자했으며 반응기 등 일부만 추가해도 수요 증가분을 빠르게 충족할 수 있는 것으로 파악된다.

켐트로닉스는 PGMEA 뿐만 아니라 반도체 유리기판 글라스관통전극(TGV) 공정 개발, 재생 웨이퍼 등 반도체 소재‧부품 사업을 확대하고 있다.
이에 따라 신한투자증권은 켐트로닉스의 2025년 매출이 6475억원으로 전년대비 10%, 영업이익은 395억원으로 5% 증가할 것으로 예상했다. 2026년 역시 매출이 7595억원으로 17%, 영업이익은 629억원으로 59% 급증하며 성장세를 이어갈 것으로 전망하고 있다. (강)