산업자원부가 1995년부터 추진해온 초소형 정밀기계 기술개발(Micro Electro Mechanical System) 기반이 크게 향상되고 있는 것으로 나타났다. 산자부는 삼성전자 및 메디슨 등이 참여한 잉크젯 헤드, 의료용 내시경, 고집적 HDD, 대면적 디 스플레이용 마이크로 반사경, 캠코더용 자이로센서, 자동차용 압력센서의 상용화에 성공하고, 진공 전자소자용 접합기술 등 6개 기술개발을 완료했다고 발표했다. 초소형 정밀기계기술은 반도체 공정에 활용되는 마이크로 크기의 기술로 정밀도가 요구되는 전자· 정보통신, 의료, 자동차, 우주항공 등에 활용되는 21세기 핵심 기술이다. 산자부는 1995년 12월부터 2002년 9월까지 총 연구비 830억원 투자할 예정이다. 1995년 정부 32억 원, 민간 32억200만원 등 64억200만원을 투자한 것을 시작으로 1998년 13억900만원, 1999년 13억4700만원 등이 투자됐으며, 2000년 이후 29억5750만원을 투자할 계획이다. 정부와 민간이 각각 415억원씩 부담한다. 산자부는 정보통신 및 의료분야에서 마이크로 솔루션스, 엠투엔, MEMSware, 엠플루이딕스, 아이큐리랩 등 20여개 벤쳐기업의 창업 및 기술기반 구축을 지원하고 있으며, 대기업과 벤처기업이 공동으로 휴대 단말기용 고주파 부품, 광통신용 부품 및 모듈, 적외선 이미지 센서, 반도체 테스트용 프로브카드 등을 개발하고 있다. 이에 따라 실리콘 미세가공을 위한 SOI 및 Isolation 기술 개발, 표면 미세가공 기반기술 개발, 미세 가공·접합 및 패키징 기술 개발 등이 진행되고 있으며, 고해상도 헤드, HDD 헤드, 광송·수신 모듈 등 정보기기 및 광통신용 분야를 비롯해 세포 및 DNA 분석기, 마이크로 펌프, 자이로스코프, 광스위치, 마이크로 미러, 광 도파관, 광 커플러, TV Projector 등이 유망 분야로 떠오르고 있다. MEMS 기술은 세계적으로 약물전달 시스템 및 광스위치, 랩온칩 등 10억달러 이상의 시장을 형성 하고 있으며, 프로젝션 밸브 3억달러, 마이크로 모터 8000만달러, 충돌방지 센서 2000만달러 등 신규 시장이 속속 형성되고 있어 초소형 정밀기계기술 시장이 점차 활성화될 전망이다. 한편, 국제전기전자학회(IEEE) 주최로 2001년 2월 스위스에서 개최된 제14회 초소형 정밀기계 국제 학술회의에서 우리나라는 발표 논문 수에서 미국, 일본, 스위스에 이어 4위로 부상하는 등 국제경 쟁력이 크게 향상되고 있는 것으로 나타났다. 그래프,도표:<MEMS 연구개발 투자현황><MEMS 기술 관련제품 세계시장 전망> <Chemical Daily News 2001/08/14> |
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