반도체 등 정밀산업과 연구소 실험실에서 사용되는 석영판재를 저렴하게 공급할 수 있는 기술이 개발됐다. 석영유리 전문 생산기업 큐텍(대표 박태욱)은 석영돔(Dome) 진공 열성형 기술을 이용해 파기된 석영글래스를 다양한 규격의 판재 글래스로 리사이클링하는 기술을 개발했다. 석영글래스는 무수규산(Sio2)을 초고온에서 녹여 만든 제품으로 반도체, 전기ㆍ정보통신, 자동차등 각종 산업에 핵심재료로 사용되고 있다. 그러나 제조공정이 어렵고 많은 투자를 요구하기 때문에 일부 선진국에서만 생산돼 왔으며, 국내에서는 대부분 수입에 의존해 왔다. 큐텍이 개발한 기술은 반도체공정 중 웨이퍼 튜브용으로 쓰고난 뒤 열에 의해 찌그러기거나 형태가 파기된 석영글래스를 열성형 방법을 이용해 판재 글래스로 리사이클링하는 방식이다. 섭씨 1700도 이상의 진공고온에서 처리되기 때문에 불순물 함유량도 극히 미미하다. 문의: 043)536-9200 큐텍은 미국과 일본에도 특허 출원할 예정이다. <조인경 기자> <Chemical Journal 2003/07/22> |
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