차세대 CMP slurry 개발 박차!
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동우화인켐 시장참여 본격화 따라 … 메탈과 STI용 Slurry 주력 국내 CMP Slurry 시장은 제일모직, 동진쎄미켐, 한화석유화학, 테크노세미켐 등의 치열한 4파전에 동우화인켐이 가세할 것으로 보여 경쟁이 가속화할 전망이다.특히, CMP(Chemical Mechanical Polishing) Slurry 시장이 2000억원까지 확대될 것으로 보여 CMP Slurry 생산기업들은 시장에서 우위를 차지하기 위해 차세대 Slurry 개발에 박차를 가하면서 시장경쟁 열기가 더욱 달아오를 것으로 전망된다. 국내 CMP Slurry 시장규모는 2002년 약 500억원대로 추정되며, 앞으로 약 2000억원 정도로 확대될 것으로 예상되고 있다. Oxide Slurry는 어느 정도 국산화에 성공해 양산하고 있으며, 국내 생산기업은 제일모직, 동진쎄미켐, 한화석유화학, 테크노세미켐 등 메이저 4사로 구성되고 있다. 메이저 4사는 이미 Fumed Silica를 이용한 Oxide Slurry를 국내 반도체 생산기업에 공급하고 있는데, 반도체용 전자재료 생산기업인 동우화인켐의 Slurry 시장 진입이 예상돼 경쟁이 더욱 더 치열해질 것으로 보인다. 표, 그래프 | CMP Slurry 생산능력(2003) | <화학저널 2003/12/22> |
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