반도체용 화학 에어필터 공급 확대
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카엘, PDP 이어 LCDㆍOLED 생산라인에 … 미세오염물질 부착 방지 화학(Chemical) 에어필터 전문기업 카엘(대표 이후근)은 2004년 PDP 생산라인에 이어 2005년부터 LCD와 OLED(유기발광다이오드) 생산라인에도 공급하는 등 에어필터 공급을 확대할 예정이다.화학 에어필터는 반도체 생산라인 등에서 분자 크기의 미세한 오염물질이 웨이퍼 표면에 붙어 불량을 일으키는 것을 방지해 생산수율을 높일 수 있다. 특히, 화학 에어필터는 반도체 공정이 미세화되면서 가스로 인한 불량제품 발생을 막기 위해 사용되는 것으로 최근 디스플레이 패널이 대형화되면서 본격적으로 사용되고 있다. 카엘은 1998년부터 화학 에어필터의 국산화작업을 시작해 현재는 대부분의 수입제품을 대체하고 국내 반도체용으로 사용되는 제품의 70% 이상을 공급하고 있다. 카엘은 타이완과 중국 등에서 현장 테스트를 진행하는 등 디스플레이 부문의 해외진출을 적극 추진할 방침이다. <화학저널 2005/06/14> ⓒ 화학경제연구원, 무단 전재·재배포 및 AI 학습 목적의 무단 수집·이용을 금합니다. |
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