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반도체 특허 노광·세정에 집중 최근 5년간 반도체 제조분야와 관련된 특허 출원이 2006년 기준 9770건으로 국내 7410건, 국외 2360건에 달한 것으로 나타났다.2002년 6622건에 비해 32% 증가했는데, 2002년에는 국내 5011건, 국외 1611건을 기록했다. 전체 출원건수에 대한 국내출원 비율은 2002년 75.6%에서 2005년 79.5%로 상승했으나 2006년에는 75.8%로 다소 하락했다. 다만, 매년 75-80% 수준을 유지하고 있다. 삼성전자·하이닉스가 특허출원 선도 삼성전자는 국내에서 2005년까지 가장 많은 특허를 출원했으나, 2006년에는 출원건수가 감소했다. 삼성전자의 특허출원 방향이 양적특허에서 질적특허로 변화하고 있는 것으로 해석된다. 표, 그래프 | 반도체 제조특허 출원건수 변화 | 반도체 제조특허 출원건수 순위 변화 | 노광 기술특허 출원순위 변화 | 반도체 제조특허 관련 IPC 출원순위 변화 | 세정연마 기술특허 출원순위 변화 | <화학저널 2007/12/3> |
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