일본, 태양전지용 특수가스 강화
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Kanto Denka, 수요처와 공동개발 … COF2 신규 프로세스 연구 Kanto Denka Kogyo가 태양전지 분야에서 불소계 특수가스 전개를 강화하고 있다.Kanto Denka는 불소나 염소 관련기술을 바탕으로 한 다양한 유도제품 제조기술을 활용해 반도체ㆍ액정에서 전지, 정보전자기기, 의약ㆍ농약에 이르는 다양한 분야에 제품을 공급하고 있다. 최근에는 7차 중기경영계획의 최종년도를 맞이해 환경ㆍ에너지 분야에서 신 성장동력을 육성키로 하고 특히, 성장이 기대되는 태양전지 시장에 불소계 특수가스 공급을 확대할 방침이다. 삼불화질소(NF3)는 주력 용도인 반도체ㆍ액정용 세정제를 기본적으로 강화할 계획이다. 액정 및 반도체 시장은 침체가 이어지고 있으나 장기적으로는 셀 세정용 수요 확대가 기대되기 때문이다. Kanto Denka는 2008년 반도체ㆍ액정용 신규 특수가스인 Carbonyl Fluoride(COF2)를 세계 최초로 양산화했으며 기존의 엔드 유저에 그치지 않고 장치기업과 프로세스 개발을 공동으로 추진하고 있다. 기존의 반도체ㆍ액정용 장치나 마이크로파 관련장치 생산기업은 물론 태양전지 생산기업과 공동으로 전지 제조용 신규 프로세스 개발에 적극 나서고 있다. 지구온난화계수가 적으면서 세정력이 뛰어난 특성을 살려 이르면 2009년 가을 상업화할 계획이다. 또 모노실란(SiH4)이 실리콘 막 형성에 사용되는 CVD(화학기상성장법)용 가스로 박막계 태양전지용 수요가 기대됨에 따라 모노실란 제조ㆍ반응에 필수적인 염화수소 공급도 검토하고 있다. Kanto Denka는 삼불화질소의 생산능력을 확대함과 동시에 2008년에는 COF2 100만톤을 가동했으며 앞으로도 태양전지 시장 확대에 대비해 주력인 불소계 특수가스 생산을 확대해나갈 방침이다. <화학저널 2009/05/27> ⓒ 화학경제연구원, 무단 전재·재배포 및 AI 학습 목적의 무단 수집·이용을 금합니다. |
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