박막형 태양전지 증착기술 개발 활발
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특허청, 화학적 기상증착 특허 132건 … 물리적 기상증착 112건 2위 최근 박막형 Si 태양전지에 대한 관심이 높아지는 가운데 증착기술 특허가 늘고 있다.박막형 Si 태양전지는 CdTe, CIGS형 태양전지와 함께 2세대 태양전지로 분류되는데 제작 방식이 반도체ㆍLCD 증착기술과 유사해 세계 최고 수준의 반도체ㆍLCD 증착기술을 가지고 있는 국내기업이 기술 및 시장 경쟁력 면에서 우위를 차지할 가능성이 높게 나타나고 있다.
1997년 외환위기 이후 2004년까지 잠시 주춤했다가 최근 들어 급격히 증가하고 있다. 증착 방식별로는 원자층 증착(ALD)을 포함한 화학적 기상 증착(CVD)과 스퍼터, 진공 증발법을 포함한 물리적 기상 증착(PVD)은 각각 134건 및 112건으로 거의 비슷한 비율로 출원됐다. CVD에 관련출원은 1995년 초기부터 현재까지 꾸준히 이어져 왔으며, PVD는 2003년 이후 출원이 증가하기 시작해 2006년부터 급격한 상승세를 나타냈다. Si 광활성막의 결정구조에 특징이 있는 박막형 Si 태양전지 관련출원은 다결정 Si의 비율이 비정질 또는 단결정 Si보다 다소 높은 것으로 나타났다. 국내기업들은 1세대 결정형 실리콘 소재 분야에 집중돼 있고, 박막형 태양전지 생산을 목표로 하는 곳은 5사에 불과하지만, 태양광발전 산업의 급격한 확장에 따라 박막형 Si 태양전지를 포함한 다양한 박막형 태양전지의 상용화가 이루어질 것으로 예상되고 있다. <고우리 기자> 표, 그래프: | 박막형 Si 태양전지 제조용 증착기술별 출원 건수 | <화학저널 2009/7/14> |
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