Sumitomo Chemical은 최근 중국 Xian에 건설한 중국 최초의 반도체 소재공장의 가동을 시작하고 삼성전자의 플래시 메모리 신규공장에 고순도 황산(Sulfuric Acid) 공급을 개시했다.
수요가 증가함에 따라 생산능력을 2배 이상 확장할 수 있는 것이 장점으로 앞으로 수십억엔의 매출액 달성을 추진할 방침이다.
운송하기 쉬운 레지스트와 주변 약제는 일본과 한국거점에서 공급하고 있다.
Sumitomo Chemical의 정보전자 사업은 중기경영계획을 웃도는 수준의 양호한 영업실적을 기록하고 있지만 FPD(Flat Panel Display) 비중이 높은 것으로 알려졌다.
앞으로는 반도체 소재분야를 강화해 사업 안정도를 높여갈 방침이다.
Sumitomo Chemical의 최신공장이 있는 Sumika Electronic Materials는 중국의 5번째 전자소재 생산거점으로 총 투자액은 40억엔으로 삼성전자의 신형 낸드플래시 메모리 공장에게 공급하기 위한 고순도 황산과 과산화수소, 암모니아를 생산하고 있다.
Xian은 기존 FPD용 소재 공장에서 거리가 멀기 때문에 신규 공장이 필요한 상태이다.
Xian 공장 건설은 Sumitomo Chemical의 국내 자회사 동우화인켐이 담당했으며 반도체 소재의 해외공장은 동우화인켐에 이어 2번째이다.
삼성전자가 Xian에서 생산하는 플래시 메모리는 3차원구조의 차세대 모델로 서버용도 등의 수요가 증가할 것으로 예상되고 있다.
Toshiba도 3차원 낸드플래시에 주목하고 있어 본격 양산을 위한 설비투자를 일본 Yokkaichi에서 추진하고 있다.
Sumitomo Chemical는 한국‧일본거점에서 Xian으로 각종 소재를 공급할 계획인 것으로 알려졌다.
ArF(불화아르곤) 레지스트와 전극에 사용되는 고순도 알루미늄 타겟 등은 현지에서 생산할 필요성이 적기 때문이다.
다만, ArF 레지스트는 Osaka 공장의 가동률이 이미 높은 수준에 달해있어 안정공급을 위한 생산능력 확대를 검토하고 있다.
레지스트에 사용하는 광산발생제(PAG: Photo Acid Generator) 연구개발(R&D)도 추진하고 있어 반도체 프로세스 미세화에 대응해나갈 방침이다.
차세대 EUV(Extreme Ultra Violet) 레지스트 개발도 꾸준히 이어간다.
g선 및 i선 레지스트는 동우화인켐이 주도적으로 생산하고 있으며 판매도 호조를 지속하고 있다.