
인테그리스의 고순도 약품 인수 … 타이완 CMP 슬러리 증설 투자
후지필름(Fujifilm)이 반도체 소재 강자로 떠오르고 있다.
후지필름은 포토레지스트, 포토리소그래피 주변 소재, CMP(화학적 기계연마) 슬러리, 재배선층 등 절연 소재용 PI(Polyimide) 등 다양한 반도체 소재를 공급하고 있다.
2030년에는 반도체 소재 포함 전자소재 매출액을 5000억엔으로 확대하는 것을 목표로 하고 있으며 2023년 5월 미국 인테그리스(Entegris)로부터 반도체 세정용 고순도 약품 사업을 약 950억엔에 인수하기로 결정하며 목표 달성에 속도를 내고 있다.
인테그리스 사업 중 반도체용 프로세스 케미칼 사업의 중심인 CMC Materials KMG를 인수함으로써 반도체 세정‧건조공정에 사용하는 프로세스 케미칼 사업을 확보하고 전공정용 반도체 소재는 전부 갖추게 될 것으로 평가되고 있다.
CMP 슬러리는 타이완에서 생산능력을 확대하고 있다.
현지에서 CMP 슬러리, 포토리소그래피 공정용 현상액, 클리너 등 소재 수요가 증가하고 있어 2026년 가동을 목표로 신주시(Hsinchu)에 CMP 슬러리, 포토리소그래피 주변 소재 생산을 위한 공장 건설에 150억엔을 투입하기로 결정했으며 기존 타이난(Tainan) 공장에 3번째 생산동을 건설해 CMP 슬러리, 현상액 생산설비를 도입할 계획이다.
CMP 슬러리는 현지 생산능력을 2배 확대하며 최첨단 생산설비 및 품질 평가기기를 도입해 생산 뿐만 아니라 기술 지원까지 강화함으로써 수요기업 니즈에 즉각 대응할 수 있는 공급체제를 완성할 예정이다.
후지필름은 CMP 슬러리 시장점유율이 15-20%로 글로벌 메이저 지위를 확보하고 있으며, 특히 첨단 로직 반도체의 구리 배선을 평탄화하는 용도에서 최대 점유율을 장악하고 있다.
그동안 타이완‧한국‧미국에서만 생산했으나 TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing)가 일본 구마모토(Kumamoto) 투자에 나서며 구마모토에 공장을 건설하고 있고 2026년에는 세계 CMP 슬러리 생산능력을 1.5배 확대하는 것을 목표로 하고 있다.
반도체는 미세화가 진행되며 제조공정이 복잡해지고 있고 기술 난이도가 높아지고 있어 소재 생산기업들은 토탈 솔루션 제공이 가능하도록 포트폴리오 확충에 주력하고 있다.
머크(Merck)는 2019년 Versum Materials를 인수해 전공정 반도체 소재 사업을 확대했고, 쇼와덴코(Showa Denko)는 히타치케미칼(Hitachi Chemical)을 인수한 후 후공정 소재를 취급하는 레조낙(Resonac)을 설립했다.
후지필름은 프로세스 케미칼 사업을 확보함으로써 거의 모든 전공정 소재를 갖추게 됐으며 EUV(극자외선) 레지스트와 CMP 공급을 꾸준히 이어나갈 계획이다.
프로세스 케미칼 분야에서는 과산화수소 메이저 MGC(Mitsubishi Gas Chemical)가 미국 수요기업들의 신증설 설비 가동에 맞추어 2024년 이후 가동을 목표로 현지공장 증설을 검토하고 있고, 스미토모케미칼(Sumitomo Chemical) 역시 신규 공장 건설을 준비하고 있다.
후지필름이 인수하는 CMC Materials KMG는 유럽과 미국에서 총 6개 공장을 가동하고 있어 미국 수요 확보에 유리한 것으로 평가된다.
후지필름은 이미 세계 11곳에서 반도체 소재 공장을 가동하고 있으며 CMC Materials KMG 공장이 추가된 후 구마모토, 한국 평택에서도 2024년 신규 공장을 가동할 예정이어서 2024년 이후 전체 사업장 수가 20개 이상으로 급증할 것으로 예상된다.
한편, 후지필름은 최근 2년간 설비투자액 중 70%를 헬스케어 영역에 집중 투입했다.
2022년 미국 Atara Biotherapeutics로부터 세포 치료제 생산기지를, 또다른 미국 바이오 기술 전문기업인 Shenandoah Biotechnology와 Inspirata로부터는 디지털 의료 관련 사업을 인수해 바이오 의약품 위탁개발‧생산(CDMO) 메이저 지위를 확보했고 의료기기 사업도 주요 수익원으로 육성하고 있다.
의료기기를 공급하는 메디칼 시스템 사업은 2019년 히타치(Hitachi)의 진단 이미징 관련 사업을 인수한 이후 급성장해 2022년에는 매출이 611억엔으로 헬스케어 영역 전체의 3분의 2를 차지했으며 히타치 진단 이미징 시스템이 후지필름의 기존 포트폴리오 중 비어 있는 부분을 채워 원스톱형 토탈 솔루션 체제를 완성했다는 평가를 받고 있다. (강윤화 책임기자)