특수가스는 코로나19(신종 코로나바이러스 감염증)를 전후로 반도체 시장이 회복하면서 호황을 누렸으나 2023년에는 메모리 영역이 부진하면서 부진에 빠진 것으로 나타났다. 일본 역시 반도체용 가스 판매량이 크게 감소한 것으로 파악된다.
일본 산업·의료가스협회에 따르면, 일본은 2023년 특수가스 내수 판매량이 육불화에탄(C2F6)을 제외한 대부분이 감소한 것으로 나타났다.
일본 특수가스 시장은 2024년 상반기에도 부진이 이어졌으나 TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing) 구마모토(Kumamoto) 공장 준공 등 반도체 생산기지가 증가하면서 앞으로 반등을 기대하고 있다.
수요가 1000톤 이상인 반도체용 가스는 암모니아(NH3)와 삼불화질소(NF3), 일산화이질소(N2O) 등 3종이다.
LED(Light Emitting Diode)와 LC((Liquid Crystal) 패널 제조공정에서 에피택시와 막 성형 가스로 사용되는 고순도 암모니아는 판매량이 1580톤으로 전년대비 22.8% 급감해 2년 연속 마이너스를 기록했다. 다만, 비중은 여전히 1위를 차지하고 있다.
LC 패널 세정용이 주력인 삼불화질소는 1379톤으로 414% 격감했다. 화학적 기상증착법(CVD) 프로세스에서 절연산화막 형성에 활용하는 일산화이질소는 성장세를 유지하고 있었으나 1113톤으로 34.1% 급감한 것으로 나타났다.
절연가스와 플라즈마 에칭제 등으로 사용하는 육불화에탄(C2F6)만 283톤으로 57.5% 폭증했다. 육불화에탄 수요는 2018년부터 2020년까지 3년 동안 판매량이 감소하면서 136톤까지 떨어졌으나 이후 3년 연속 증가했다.
국내에서는 최근 한앤컴퍼니가 반도체 및 디스플레이 패널 생산용 특수가스 공급하는 SK스페셜티 인수 협상을 진행하고 있다. SK스페셜티는 SK의 자회사로 삼불화질소와 육불화텅스텐(WF6) 제조 분야에서 글로벌 시장점유율 1위와 우수한 기술력을 보유한 것으로 알려졌다.
백광산업도 새만금산업단지에 7500억원을 들여 에칭가스 등 반도체 핵심소재를 생산하는 No.2 공장을 건설할 계획이다. (윤우성 선임기자)