CMP Slurry 국산화 진행중 …
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Slurry의 국산화를 위한 국내기업의 노력이 계속되고 있다. 반도체 집적도가 높아지면서 반도체 웨이퍼 회로의 불필요한 박막을 연마하는 과정에서 정밀도가 높아짐에 따라 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정에 필수적으로 들어가는 반도체재료 수요가 증가하고 있기 때문이다. 1999년 슬러리 시장은 1200만달러에 달했지만 국내생산이 전무한 상황이어서 전량 수입에 의존했다. 그러나 2000년에는 동진쎄미켐, 제일모직, 크린크리에이티브, 에이스하이텍 등의 국내기업이 생산을 시작하면서 국산Slurry는 1809만9000달러의 국내시장 가운데 87만2000달러를 장악하는데 성공했다. 표, 그래프 : | 반도체 재료 공급전망 | 반도체 재료 시장현황 | CMP Slurry 시장현황 | <화학저널 2001/9/24> |
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