CMP 기술 반도체 중심으로 재편
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반도체산업에서 CMP(Chemical Mechanical Planarization)는 지난 10년동안 개발기술에서 주류 프로세스로 성장해왔으며, CMP 소재 시장도 비슷한 길을 걸어왔다. Kline에 따르면, 반도체 CMP Slurry 시장은 1996년 2000만달러에서 2000년 1억7500만달러로 성장했다. Kline은 CMP Slurry 시장이 연평균 25% 이상 성장해 2005년에는 5억2000만달러에 달할 것으로 예상하고 있다. 반도체 디바이스 Geometry 시장은 계속 감소하고 있고, Photolithography는 더 작은 Circuitry 패턴으로 전환되고 있으며, Wafer는 표면편평도가 중요해지고 있다. CMP 수요는 복잡한 반도체 장치에 사용되는 연결회로의 층이 많아지면서 함께 증가하고 있다. 각각의 층이 평탄화를 필요로 하기 때문이다. CMP는 로직 칩 뿐만 아니라 메모리 칩에서도 반드시 필요한 프로세스가 되고 있다. 표, 그래프 : | CMP 시장규모 | <화학저널 2001/10/22> |
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