공업용 특수가스 TFT용 회복!
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일본, NF3의 약진 두드러져 … 출하금액은 고전 면치 못해 일본의 Specialty Gas가 반도체, 액정 생산이 회복됨에 따라 증가하고 있는 것으로 나타났다.일본 산업가스협회(JIGA)의 Specialty Gas 전문위원회에 따르면, 2002년 Specialty Gas 일본시장은 전년대비 6% 증가한 378억엔으로 집계됐다. 액정 증산 등에 따라 NF3(Nitrogen Trifluoride)가 확대됐으며, 화합물 반도체용인 AsH3(Arsine) 등이 호조를 보였다. 2003년 수요는 가격면에서 어려운 상황이 계속되겠지만 수요량 증가에 따라 3% 증가한 390억엔 으로 예상하고 있다. Specialty Gas는 NF3가 무려 27% 증가해 30만kg대에 올라섰는데 NF3는 IT불황이 닥친 2001년에도 증가했으며, 이는 Remote Plasma CVD(화학 기상 성장법) 장치 보급에 따른 것으로 보인다. 액정인 TFT(초박형 트랜지스터) 형성용 등에 사용되는 Monosilane도 26% 증가하는 등 높은 증가율을 보였다. 화합물 반도체용도 모두 호조를 보이고 있으며 특히 암모니아가 32% 증가해 40만kg을 돌파했다. 한편, 수요가 감소한 것은 광섬유용 SiCl4로, 광통신 시장의 장기침체가 영향을 미쳐 무려 30% 감소했다. Etching Gas는 온난화 문제에 대한 대응이 진전됨에 따라 C2F6가 감소하고 C3F8 등으로의 대체가 계속되고 있다. 2002년 일본의 Specialty Gas 시장은 수량이 회복된 반면 가격은 어려운 상황이며 단가는 전년대비 10% 전후 증가했으나 금액 베이스에서는 수량 만큼의 증가세는 어려울 것으로 나타나고 있다. 표, 그래프: | 일본의 Specialty Gas 국내수요(2002) | <Chemical Journal 2004/01/09> |
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