Mitsui, 한국 NF3 공장건설 고려
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2007년까지 1200톤 생산체제 확립 … 중국ㆍ타이완과 함께 검토 일본 Mitsui Chemicals이 반도체, 액정 제조에 사용되는 특수가스 3불화질소(NF3)의 생산능력을 추가 증설한다.Mitsui는 2005년 5월까지 생산능력을 900톤으로 확대하는데 이어 2007년 하반기 가동 예정으로 1200톤까지 확대할 방침이다. NF3은 액정 제조공정의 클리닝가스 수요가 순조롭게 증가하고 있어 풀가동이 계속되고 있기 때문이다. 앞으로도 일본, 한국, 타이완에서 대형기반을 이용한 액정공장의 신증설이 계속될 예정으로 있어 생산 확충을 결정했다. Mitsui는 이미 증설을 위한 타당성 조사에 착수했으며 2005년 상반기에 구체적인 증설계획을 확정할 예정이다. 공장 건설부지는 수요처를 기본으로 한국, 타이완, 중국을 고려하고 있다. NF3의 생산거점은 일본 下關과 미국의 Anderson Development 2곳으로 일본 생산능력을 450톤에서 750톤으로 확대해 5월부터 생산에 들어간다. Mitsui가 채용하고 있는 독자 전해 1단법은 불소가스(F2)를 원료로 하는 2단 합성법에 비해 탄력적으로 생산능력 확대가 가능하고, 정제비용을 최소화할 수 있는 이점이 있다. Mitsui는 기판 사이즈의 대형화를 위해 대량공급에도 적극적으로 대응해 360-470리터의 대형용기, ISO 컨테이너라 부르는 장척용기 출하도 개시하고 있다. 한번에 3.6톤(20피트) 혹은 7.2톤(40피트) 수송이 가능하다. Plasma CVD법의 클리닝에 NF3는 최대인 미국 Air Products가 1600-1800톤 생산능력을 보유하고 있으며, 일본 關東電化가 2005년 가을 850톤에서 1000톤으로, Central硝子도 가을 300톤에서 600톤으로 증설할 예정이다. <화학저널 2005/06/02> |
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