DuPont, 중국에 NF3 플랜트 건설
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Changsu 450톤 2007년 가동 … Air Products의 아시아 독주 견제 DuPont Fluoroproducts가 중국 NF3(Nitrogen Trifluoride) 프로젝트를 발표했다.중국 Changshu에 건설하게 될 NF3 450톤 플랜트는 2007년 완공 예정이며 FPD(Flat Panel Display) 및 반도체 세정용으로 사용된다. DuPont의 NF3 프로젝트는 현재 6억달러에 이르는 중국 투자를 2010년까지 12억달러로 확대하는 장기 프로젝트의 일환으로 알려졌다. 이미 삼성전자, LG필립스LCD, Sharp, Chi Mei Optoeletronics 등에 NF3를 공급하고 있는 Air Products의 아시아 시장 독주를 견제하기 위한 포석으로 풀이된다. NF3는 1990년대 중반부터 화학증착장비(CVD) 챔버(Chamber) 세정가스로 탄화불소(Fluorocarbon)를 대체하기 시작했으며 세정속도와 세정력, 비용면에서 경쟁력을 갖춘 것으로 평가되고 있다. 한편, DuPont은 9월 미국 노후연금 플랜에 10억달러를 기부한 것으로 알려졌다. <화학저널 2006/03/10> |
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